锦州市润佳真空设备科技有限公司
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Zibo Gaiyi Chemical Equipment Co., Ltd.
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真空感应化学气相沉积炉
通过长期对客户的跟踪服务,与客户一线生产人员共同完成数个沉积周期在充分掌握工艺性能的同时进一步完善了该炉的性能.使压力,温度,气体流量等工艺数据的控制和记录,实现自动化,确保了设备的重复性,产品的一致性.
我公司有专业技术人员,专职从事对客户的长期售后跟踪服务工作.具有丰富的实践经验,以协助客户完成在各种不同工艺条件下的生产活动.（客服工作人员只设法完成使设备满足工艺条件的工作）
技术指标
最高使用温度:1500℃
沉积室均温区尺寸:φ1200x1500
三点测温不均匀度:1000℃≤±10℃
满载升温时间:R.T-1500℃，≤5小时
冷态空炉极限真空：≤30Pa≤20min