锦州市润佳真空设备科技有限公司
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Zibo Gaiyi Chemical Equipment Co., Ltd.
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单晶炉
产品用途：
该系列单晶炉是采用直拉法生长单晶硅材料的专用设备。
主要技术参数：
VDR1500单晶炉系列电源： 3相，380 V±10%,50HZ
加热器最大加热功率：150～200 KVA
加热器最高加热电压：60 V
冷炉极限真空度：3 Pa
晶体直径：Φ8"/φ 10"
熔料量： 150 Kg
主炉室尺寸：Φ1000×1400 mm
副炉室尺寸：Φ350×2300 mm
籽晶拉速范围：0.2～8 mm/min
籽晶快速范围：≥300 mm/min
籽晶转速范围：2～40 R/min
坩埚升速范围：0.02～1.0 mm/min
坩埚快速范围：≥100 mm/min
坩埚转速范围：0.2～15 R/min
籽晶提升有效行程：3100 mm
坩埚升降有效行程：450 mm