锦州市润佳真空设备科技有限公司
扫描二维码
查看手机官方网站
联系人：崔经理 电话：86-0416-4680095 传真：86-0416-4680095
手机：13897877708 电子信箱：rf630124@163.com 注册网址：www.jzrfzk.cn
通信地址：锦州市凌河区胜河里131号 邮政编码：121000
Copyright © 锦州市润佳真空设备科技有限公司 2019. All rights reserved. 辽ICP备14004652号 网站建设：中企动力 锦州
Zibo Gaiyi Chemical Equipment Co., Ltd.
Sales Department: Liu Yang
Phone: 0086-15866276699
Tel: 0086-533-6018177
Fax: 0086-533-6018166
E_mail: zbgaiyi@163.com
Web: www.zbtangboli.com
Add: 200 meters north of Xibo Road, Zibo New District, Zibo City
Scan code to view the official website of the mobile phone
制粉镀膜机
FTZKDM-998真空镀膜机参数
真空镀膜技术基片升温低，沉积速率高为主要特点，该沉积工艺在电导膜、光学膜、保护膜、
装饰膜等诸多方面都有广泛应用。本设备是集磁控溅射和弧源为一体较为先进的生产设备，
可生产不同规格的金属膜产品。
主要技术指标
1. 整机外形尺寸：3200*1600*2438mm（长x宽x高）
真空室外型尺寸：φ998x700mm（有冷水）
2.极限真空度：6.7x10-4Pa
3.恢复真空度：清洁空炉由大气抽至6.7x10-3Pa≤30min
4.压升率：1Pa/h（清洁空炉）
5功率:
磁控源电源功率:10KVA
弧电源功率:3KVA
6.矩形磁控靶材尺寸：384x131x12mm
7.弧源靶材尺寸：φ100x70mm
8.烘烤温度：0~500℃
9.冷却水：流量：20~35L/min
10.充气系统：质量流量计 3路显示